全自动四探针测试仪FT-3110 系列

全自动四探针测试仪（含 FT-3110A/FT-3110B）采用四点探针法与 ASTM 标准，支持全自动测量、PC 软件数据采集与分析，可检测电阻率、方块电阻、厚度等参数，兼具 2D/3D 扫描图谱显示与温湿度监测功能。
性能上，FT-3110B 测量范围更宽（方块电阻 10⁻⁶～2×10⁵Ω/□，测试电流 1A），两款机型均达≤0.3% 电阻精度与≤0.5% 单点重复性，探针压力可调且配备多重防护功能可靠。适配 2-12 寸圆形晶圆及定制方片，支持单点、面扫描等多种测试模式，应用于半导体、太阳能电池、OLED、纳米材料等领域。
可选配测试线、定制载台、备用探针、分析软件、电脑打印机等配件，提供计量检测服务与 1-3 年延保，可根据测试需求灵活选型，兼顾实验室研发与生产线批量检测需求。

一、功能概述

FT-3110系列全自动四探针电阻率测试仪，是一款适配半导体、光电薄膜、新能源导电材料的高精度电学性能检测设备。设备采用直线四探针法搭配双电测技术，契合国标与ASTM行业检测标准，搭载X、Y轴全自动运动平台、数控恒流源与高精度电压采集模块，实现全程无人自动化测试。

设备支持自动正反电流输出、自动正反电压采集，可测量样品方块电阻、体积电阻率、电导率及薄膜厚度，自带多点阵列扫描、全域面扫描等多种测试模式。探针压力、测试点数、测试参数均可自定义调节，配备压力检测器与软着陆保护功能，可有效规避晶圆、薄膜样品划伤问题。

配套中英文双语PC软件，支持数据实时采集、运算修正、统计分析，可自动完成厚度修正、边界修正，生成Excel测试报表、直方图、等值线图、2D云图及3D立体分布图谱。系统具备测试阈值判定、合格不合格自动标记、批量数据存储追溯、测试方案一键调用、权限管理等功能。整机配备遮光屏蔽箱体，可消除光生载流子对测试数据的干扰，搭配多重防护警报功能，运行稳定，适配科研试验、来料检验、工艺优化、批量质控等场景使用。

二、工作原理

本设备基于标准直线四探针测试原理结合双电测补偿技术研发，有效规避传统测试方法的边界误差与接触误差。设备通过高精度数控恒流源输出多档位恒定电流，经由外侧两根探针导入被测样品，同时通过内侧两根探针高精度采集样品表面微小电压信号。

依托内置算法，自动完成厚度修正、边界修正计算，换算样品方块电阻、体积电阻率、电导率等参数。设备采用正反电流交替测试模式，抵消热电势、接触电势带来的系统偏差。搭配高精度XY自动位移平台，可完成单点、多点阵列、直径扫描、全域面扫描等自动化点位测试，结合软件数据建模，直观输出材料导电均匀性分布图谱。同时配备恒压控制系统与软着陆保护结构，保障每次测试压力恒定、探针接触稳定，确保数据重复性与稳定性。

三、适用范围

本设备适用于半导体材料、光电导电薄膜、新能源导电材料、纳米材料、功能性导电材料的电阻、电阻率、导电均匀性及膜层厚度检测，适配高精度科研测试与工业化批量质检场景。

测试样品包含硅锗半导体晶圆、非晶硅、微晶硅、半导体衬底、选择性发射极扩散片、表面钝化片、交叉指状PN结扩散片、电镀铜电极材料、ITO/AZO透明导电薄膜、金属薄膜、石墨电极、碳纸电极、导电橡胶、导电塑料、光伏扩散片、锂电集流体、铁电材料、热电材料、纳米导电材料等。

应用于太阳能光伏、半导体芯片、液晶显示、有机发光器件、触控屏幕、新能源电池、新材料科研、电子制造、第三方质检机构等领域，可完成材料导电性能检测、工艺对比、缺陷筛查、性能溯源分析。

四、参照标准

1. GB/T 1552 半导体、薄膜材料四探针电阻率测试

2. ASTM F84 薄膜与半导体材料方块电阻、电阻率测试标准

五、技术参数

序号	测试项目	FT-3110A	FT-3110B
1	方块电阻测量范围	10⁻⁵～2×10⁵Ω/□	10⁻⁶～2×10⁵Ω/□
2	电阻率测量范围	10⁻⁵～2×10⁵Ω-cm	10⁻⁶～2×10⁵Ω-cm
3	测试电流档位	0.1μA、1μA、10μA、100µA、1mA、10mA、100mA	0.1μA、1μA、10μA、100µA、1mA、10mA、100mA、1A
4	测量精度	标准电阻精度≤0.3%
5	单点测试重复性	≤0.5%
6	探针压力参数	压力可调范围100g至500g，支持恒压测试，配备压力检测器
7	探针升降行程	0mm至15mm，软着陆防护设计，避免样品划伤
8	探针配置参数	标准间距1.0mm，碳化钨材质，可选镀金探针，针尖半径0.04mm，机械游移率≤0.3%
9	运动定位精度	定位精度±0.01mm，重复定位精度≤0.005mm
10	膜厚测量范围	适配钛、铜、镍、金镀层，测量范围500A至10000A，数据直读
11	样品适配规格	载台适配尺寸： 1.圆形晶圆3，4，5，6，8，12英寸； 2.方形样品支持5050mm；7575mm； 100100mm； 120120mm； 3.可定制规格：2英寸，182182mm；210210mm，可扩展尺寸范围220mm*220mm 4.其他规格可定制
12	测试模式	单点、中心五点、九点、直径扫描、自定义点阵、全域面扫描，样品去边距离5mm，支持拓展自定义测试程序
13	设备防护功能	探针过载保护、运动限位防护、急停报警、量程自动保护、异常故障提示
14	软件功能	双语切换、参数自动换算、厚度与边界修正、2D/3D图谱、直方图、等值线图、阈值判定、数据存储追溯、报表导出、方案保存一键调用、拓展功能兼容
15	工作环境	环境温度23±2℃，相对湿度20%RH至65%RH，无强光、无强电磁干扰
16	工作电源	AC220V±10%，50Hz，整机功耗小于600W
17	标配控制系统	3110-FXXT全自动四探针电阻率测试数据分析与输出系统1套，由计算机+分析软件+打印机组成，可完成测试数据归档管理、测试报表生成及打印输出

✅ 增值选配清单说明

涵盖仪器标准配置之外，可个性化增购的备件、耗材与技术服务项目：

■出口项目：建议同步增购备件耗材，储备量 3–5 年使用，应对海外供货周期长等问题。

■高频使用场景：建议备货 1–5 组易损件与耗材，及时替换，保障持续生产 / 检测。

■一站式配套服务：仪器下单时同步选购，简化采购流程、降低综合成本，

可选原厂代理计量、延保维保、技术升级、性能验证、样品测试等服务

序号	型号	产品名称	单位	数量	备注
1	3110-TT-1mm	四探针测试探头	套	1	含钨探针1套，探针间距1mm；用于晶圆及硬质材料
2	3110-TT-1.85mm	四探针测试探头	套	1	含铜镀金探针1套，探针间距1.85mm；用于软性及涂层等材料
3	3110-BZYP	标准样片-硅片	片	1	用于仪器校准
4	3110-TZJC	数显探针压力检测器	套	1	检测探针压力范围至1kg
5	09A	标定电阻件	个	1-5	可按需选购规格与数量，多级校准使用
6	3310-YPT-2	晶圆样品载台	套	1	可选2寸、4寸、6寸、8寸、12寸规格
7	340-TTZ	镀金弹簧铜针	组	1	每组4根，适配薄膜样品测试
8	340-WTZ	弹簧钨针	组	1	每组4根，常规通用测试探针
9	3310-JL	检测技术服务	份	1	含设备计量校准证书，保障合规检测
10	—	设备延保服务	年	1-3	按需选购，延长设备质保周期
11	—	定制规格探针	组	1	支持0.5mm、1.5mm、2mm非标间距定制
12	—	定制方形样品载台	套	1	支持各类非标方形尺寸定制

✅ 关联产品：

■FT-3110 系列全自动四探针测试仪

■FT-330 340系列四探针方阻电阻率测试仪

■FT-3120B半自动四探针测试仪

■FT-361B低阻型四探针测试仪

■FT-371A高阻型四探针测试仪

■FT-394C手持式四探针测试仪

■FT-351系列高温四探针电阻率测试系统

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《半导体材料方块电阻测试方案及选型指南》

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